电子器件中抗辐照水平检测方案(探针台)

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GBIT易捷测试深圳市易捷测试技术有限公司SHENZHEN GBIT TESTING TECHNOLOGY CO. LTD.深圳市易捷测试技术有限公司SHENZHEN GBIT TESTING TECHNOLOGY CO. LTD. 循环制冷系统：去离子水循环制冷 支持不小于8英寸晶圆，且可兼容4-6英寸和更小芯片的总剂量辐照实验 与自动测量 支持样品变温测量，范围涵盖-60C~200°C(可选) 特点： 完成高低温探针台的传统晶圆测试功能； 对元器件进行X射线辐照试验； 开展晶圆级的总剂量辐照试验； 辐照系统主要组成 X射线源系统 探针台 测试仪表 核心指标 射线管额定功率： 3kW (4kW option) 管电压：20~50kV 管电流： 5~40mA X射线剂量率范围： 1.67rad(Si)/s~1000rad(Si)/s X射线管出光口与样品距离：不小于9.5cm 辐照样品区城大小：根据实际需要定制 高压发生器功率：3kW；稳定度：1% 标定方法：采用标准计量仪按照既定要求刻度x射线光斑剂量 主要产品型号： GX100辐照系统 GX200-M 8英寸手动探针台辐照系统GX2000-AP8英寸高低温半自动探针台辐照系统 皮秒脉冲激光器发出脉冲激光，脉冲激光通过能量衰减器后，其能量衰减至设定值，然后进入显微镜并聚焦输出，焦点位于被测芯片敏感区，则每个激光脉冲可以模拟为一个高能粒子轰击在被测芯片上。 地址：深圳市福田区福虹路9号世贸广场C座1203电话：0755-83698930喜：0755-83539619微信：易捷测试邮箱： sales@gbit.net.cn网址： http：//www.gbit.net.cn 1)激光器典型输出波长 ： 1064nm典型脉冲能量 ：不低于1uJ@1064nm典型输出频率 ：不低于1KHz脉冲宽度 ：不高于30ps 脉冲能量稳定性：优于1.5%@1061nm 2)激光衰减和聚焦 聚焦激光束斑直径不大于3um，聚焦激光能量连续可调，范围包含10pJ至1J 3) 三维微动平台 定位精度优于0.2um， X、Y方向行程大于5cm，Z方向行程大于2cm。 请扫二维码填问卷 在片辐照测试系统解决方案技术背景 在太空中，电子设备会受到辐射和重粒子的冲击而发生各种辐射效应，造成其工作的异常或故障，从国内外对航天事故的统计数据可以发现，40%的故障源于空间辐射。因此， 在使用器件时必须对其进行专门的抗辐照工艺处理，以确保其工作的可靠性。 采用X射线作为辐射源开展辐照总剂量效应试验，不仅易于实施，节省资金，在器件封装前即可对器件的抗辐射水平给出评估，是一种可行的评估器件总剂量水平的手段。X 射线辐射源系统可以用于（1）MOS结构器件的基本辐射响应分析（2）用过实验结果跟踪给定工艺的加固情况（3）迅速提高批量生产的芯片的加固情况反馈。 目前，总剂量辐照测试方面，主要应用60Coγ射线（钴源）进行测试，在广泛的研发和设计中心，Co辐射源属于危险品，很难申请和保管及运营。 相对60Co γ射线辐射源，X射线等效钴源，可以通过对比测试，快速的确定设计的好坏，易于管理和维护。X射线辐射源系统体积小，占地面积小，适合于实验室与工厂的生产线上使用，而且操作简单，调节方便，通过面板进行参数设置与操作，可精确控制辐射剂量率，且可调辐射剂量率范围较大，安全性好，仪器周边的辐射量与普通环境无差别， 更容易校准。