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液体颗粒计数器在电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法1、 前言为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控：电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要 的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到 ppt 级目前，我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口，严重制约我国芯片产业发展，是主要“卡脖子”产品之一。近两年，我国电子级硫酸制备技术取得突破，产品质量显著提高，电子级硫 酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt，超越了国际 SEMI-C12（金属离子<100ppt） 级别，与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级（金属离子<10ppt），达到国内领先、世界一流水平。基于上述原因，我国新的电子级硫酸标准将于 2023 年 5 月 1 日正式施行，也将颗粒管控提到了标准管控层面2、 电子级硫酸管控有哪些难点有 2 个，一个是硫酸的腐蚀性，一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子级硫酸 的腐蚀性很强，这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测， 接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测，稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题，都是给电子级硫酸检测无形中增加了麻烦。3、 解决方案针对这 2 个问题，普洛帝研发团队经过反复试验，攻破了这 2 个难点，将电 子级硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下，依然可以实现颗粒 管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2，选用 0.1-1.0um 检测范围的强腐蚀性传感器，实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前，已经在江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用。四、实验前准备工作1. 仪器准备：确保液体颗粒计数器处于良好工作状态，检查光源、传感器和数据处理系统是否正常。2. 样品准备：选择具有代表性的电子级氨水样品，确保其符合检测要求，并存储在适当的容器中。3. 环境准备：确保实验室环境干净、无尘，以避免外界颗粒对测试结果的影响。五、实验数据六、结果解释与报告1. 结果解释：根据处理后的数据，对电子级硫酸管的粒径分布进行解释，分析可能的影响因素。2. 报告编写：将实验过程、数据处理结果和结果解释整理成详细的报告，供后续研究或质量控制参考。通过上述步骤，我们可以准确、高效地检测分析电子级硫酸管的粒径分布，为相关领域的研究和应用提供有力支持。液体颗粒计数器在电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法
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普洛帝流体颗粒管控事业部为您提供《颗粒计数器在电子级硫酸中颗粒管控方案》，该方案主要用于其他中颗粒计数器在电子级硫酸中颗粒管控方案检测，参考标准《暂无》，《颗粒计数器在电子级硫酸中颗粒管控方案》用到的仪器有电子级磷酸液体颗粒计数器、超级电容电解液颗粒计数器、单酸碱化学品液体颗粒计数器、智能微粒检测仪、医药无菌清洁瓶、药典0903乳胶球标准物质、普洛帝 高清洁专用清洗剂 NAS0级石油醚 高清洁颗粒度清洗剂 颗粒度分析仪清洗剂 高清洁颗粒计数器清洗剂 AR分析纯。
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