速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
报价 ¥60万
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- 激光曲率法
- 双波长激光扫描测量
- 形貌、应力、曲率半径
- 1-10000MPa
- 2-20000m
- 12英寸以下兼容
- 电动旋转样品台
- 基于Stoney公式
- ≤1%@1σ
- 0.1mm Min.
- 室温-500℃
1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段！
-
光电/MEMS/半导体薄膜应力表征解决方案半导体 2021-06-02
典型用户
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 贵州大学 | 2022-10-17 |
| 长光集智光学科技有限公司 | 2022-09-26 |
| 香港科技大学（广州） | 2022-07-29 |
| 江西师范大学 | 2022-07-26 |
| 华为机器有限公司 | 2022-07-22 |
| 宁波新材料测试评价中心有限公司 | 2022-07-20 |
| 江苏多维科技有限公司 | 2022-06-16 |
| 西安龙翔半导体有限公司 | 2022-07-08 |
| 芜湖长信科技股份有限公司 | 2022-05-10 |
| 江西杰创半导体有限公司 | 2022-04-30 |
| 深圳技术大学 | 2022-04-15 |
| 松山湖材料实验室 | 2022-03-08 |
| 华为技术有限公司 | 2022-01-20 |
| 浙江光特科技有限公司 | 2021-10-18 |
| 中国科学院物理研究所 | 2021-09-15 |
| 华中科技大学 | 2021-08-13 |
| 华为技术有限公司 | 2021-08-11 |
| 中国工程物理研究院 | 2021-06-22 |
| 深圳北理莫斯科大学 | 2021-04-30 |
| 电子科技大学 | 2021-02-26 |
| 深圳力策科技有限公司 | 2020-09-30 |
| 安徽熙泰智能科技有限公司 | 2020-05-29 |
| 西安交通大学 | 2020-05-20 |
| 宁波大学 | 2020-01-03 |
售后服务
1年
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6个月一次
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