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使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC（diamond-like carbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。
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使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点。岛津电子探针通过配置高位52.5°的X射线检出角以及兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体，在微量元素测试中具有很高的灵敏度，对微量元素也可得到直观的面分布特征。
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岛津企业管理（中国）有限公司为您提供《类金刚石（DLC）膜及其表面缺陷的岛津电子探针分析》，该方案主要用于薄膜材料中类金刚石 缺陷检测，参考标准《暂无》，《类金刚石（DLC）膜及其表面缺陷的岛津电子探针分析》用到的仪器有电子探针EPMA-1720系列。
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