有关X射线能谱问题

因为轻元素和重元素的激发区域不同。一般轻元素激发区域为梨形，而重元素为半球形，激发的深度厚些

请教sysmith
老有人问能谱分析的样品深度问题（考虑到表面镀层和基体），但不同加速电压，不同元素，不同密度的样品，作用深度是不一样的，但一般情况下不会超过多深，有这方面的介绍吗？

关于能谱的激发深度，是微米量级的，与样品特性如原子序数有关。在介绍扫描电镜原理的书中应该有讲述。电子在不同元素试样中的散射过程现在可用商品化的软件Electron Flight Simulator来模拟。

我曾经发过一个相关模拟软件的帖子。那个软件是免费的。

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一般情况下 X射线激发体积在0。5到15立方微米， 业界有一个经典模拟程序，可以模拟 电子束高压 (E0)，样本密度 (I) 和 X射线激发体积(V)三者之间的关系。
这个程序是能谱界的老大哥 PRINSTON GAMMA TECH (PGT) 开发的，PGT现在已经被 BRUKER并购。

没听说过。