不同的样品,不同测试目的,采用不同的参数设置
工作距离大的话,则景深大,但分辨率低; 工作距离短的话,则分辨率高,但景深变短
加速电压,越高,有利于提高图像的分辨率和信噪比
较低,利于观测试样更表面的细节,改善图像的清晰度,采用
低电压,可以减小电子束的贯穿深度和散射体积
对于能谱分析时,加速电压应大于元素的临界激发电压
一般对于重元素采用电压20KV,而对于轻元素常用电压10KV
束斑大小,减小电子束直径,得到较小的束斑,从而改善分辨率,但同时
会减弱束流,束流小的话,激发的二次电子也会减少,成像会
变的很暗,信噪比大,对成像不利;