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【求助】EDX的分辨率太低了,怎么办?

扫描电镜(SEM/EDS)

  •   这段时间,我在校正谱峰时发现分辨率总是很低,RESO值总是在180-190之间,甚至更高,以前都会在150以下,理论值不是136ev左右的吗?这到底是怎么回事,难道是我的能谱仪出了问题?谁能帮帮我啊,现在的重叠峰都没法区分了.
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  • 共工

    第1楼2007/09/19

    帮您顶置,其实这个问题以前早有详细解释,麻烦您先看看以前的帖子。

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  • lucy2008

    第2楼2007/09/19

    我就是找不到啊!麻烦指点指点!

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  • 毒菇九剑

    第3楼2007/09/19

    用XPS,或者WDS

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  • 共工

    第5楼2007/09/25

    可能标题不同,老贴谈的是探头加液氮频繁,原因是探头真空变坏,后果是探头分辨率减低。

    sem99 发表: 我就是找不到啊!麻烦指点指点!

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  • 天黑请闭眼

    第6楼2007/09/25

    什么厂家的?有没有按照规定去做分辨率的测定?

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  • 天黑请闭眼

    第7楼2007/09/25

    嗯,我也有印象,是不是这个:
    http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070323/779480/

    RENXIN 发表:可能标题不同,老贴谈的是探头加液氮频繁,原因是探头真空变坏,后果是探头分辨率减低。

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  • eigen

    第8楼2007/09/27

    引用一下:tao____的回答:
    “液氮制冷的能谱仪由于工作温度在-150度左右,因此腔体内部需要高真空,但是窗口部分的微漏是不可避免的,因此液氮制冷能谱存在这么一个问题,时间长了以后会真空变差,真空变差导致的后果就是晶体表面结霜,结霜就会造成对轻元素信号的过度吸收,轻元素或者重元素L线系分辨率就会变差,从楼主说的现象来看,应该是真空变差了,可能由于窗口微漏,也可能因为液氮灌和tube连接处微漏,应该及时送回厂家检漏,重抽真空。”

    另外请问一下:做分辨率的时候输入计数是1kcps以内吗?

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  • lucy2008

    第9楼2007/09/28


    输入了4kCPS

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  • 学海无涯

    第10楼2007/09/28

    又积累了点宝贵的经验

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