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【求助】器件有漂移现象!如何解决!?

alva-zhang

2008/04/25

扫描电镜（SEM/EDS）

我们这是使用的日立的S-3400N 机器,观测的器件最主要的是树脂包埋处理的!且使用的树脂是不导电的!每次使用均做镀金处理.可我在操作中放大到1W倍的时候老出现图象漂移,所以成像结果老大们不怎么满意.我也看过论坛上说的几种处理方法:1.检查喷金的好坏(开始比较薄一直到见金黄色);
2.检查器件粘贴的牢靠度(用新的导电胶重新贴,拿下来比较费力不);
3.个人操作问题(使用拖台或不用树脂包埋的器件无漂移现象).
现操作还是按照装机工程师方法操作,用导电胶直接粘到器件可导电部位,连载物台一起喷金.

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大陆

第1楼2008/04/25

图像漂移最容易想到的原因是表面空间电荷没有及时被导走.
检查树脂表面导电层是不是太薄,或者观察表面和地之间有没有导电体联通?

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半个网客

第2楼2008/04/25

如果喷金层不太厚的话，也可能是由于电子束轰击造成的树脂软化导致的漂移。
试一试降低电子束加速电压(不大于5kv)，以及减少束流密度。

0

hncxr1385

第3楼2008/04/25

图像漂移最容易想到的原因是表面空间电荷没有及时被导走.
检查树脂表面导电层是不是太薄,或者观察表面和地之间有没有导电体联通?

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hncxr1385

第4楼2008/04/25

如果喷金层不太厚的话，也可能是由于电子束轰击造成的树脂软化导致的漂移。

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hncxr1385

第5楼2008/04/25

如果喷金层不太厚的话，也可能是由于电子束轰击造成的树脂软化导致的漂移。

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磨剪子嘞锵菜刀

第6楼2008/04/26

搭两条线试试，反正你就千方百计，想尽一切办法把荷电搞到最小啊！

时间长了就有经验了，你就值钱了啊！

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alva-zhang

第7楼2008/04/28

在这多谢大家的回复!我会去按你们说的去试着做一下!谢谢啦!

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alva-zhang

第8楼2008/04/28

看了别人家的贴!是不是我喷金喷的少了!我一般是70秒-10~15ma在喷!喷好后表面是有一点点淡灰色.且我是把导电胶一剪二在使用.

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rainyweek

第9楼2008/04/28

喷金的话,如果样品表面不平,则需要调节角度使表面尽量金膜覆盖连续;如果是很平的表面,看到喷完金已有灰色变化,导电性应该是挺好的了.
刚点亮灯丝的一段时间内由于灯丝还不稳定,也会有些图象飘移的现象,过十几分钟或半小时后就会稳定下来,这个时候再存图.你看看是不是这个原因.

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alva-zhang

第10楼2008/04/28

谢谢大家的指点!
试验如下:
一,选用原先漂移的样品不做任何处理(原先已经喷过金)通过降低电压,等时间都无用~~~失败!
二,去处表面原先的镀金再次经过表面研磨--抛光--喷金(20ma 60S感觉金喷多了),观察(15KV).样品在2W倍下基本无漂移.4W倍下有感觉漂移.试用加导电胶方法(样品左右各贴一条),在4W倍下无感觉漂移.在2W倍下拍了几张照片感觉还可以!
继续努力试验参数,有空把我们去宁波培训资料发给大家分享!基本是拿S-3400N机器做培训的!所以资料也是针对S-3400N.有需要的可以下着看!
3Q各位!

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