气相色谱(GC)
diamond
第1楼2008/08/04
会不会什么地方漏气了?
iluvm
第2楼2008/08/04
开机后多长时间达到100%?100%后泵电流是多少?如果有离子规,真空度多少?可能性有:1,漏气;2,泵控制板坏;3,涡轮泵或者机械泵坏。你最好先回答我上面的问题。
独钓寒江雪
第3楼2008/08/05
估计是漏气造成的真空度不够,使得涡轮泵自我保护
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