【原创】白光干涉显微镜的Z轴分辨率

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白光作为光源用在干涉仪中时，由于它的相干长度非常短,因此要出现干涉图样就需要参考光路与测试光路的光程要基本近似相等。白光干涉系统中运用了合适的显微物镜就可形成白光干涉显微仪。它可以对物体的表面粗糙度和微小物体表面进行精细的分析。白光扫描干涉(scanning white light interferometric SWLI) 显微仪(或称３-Ｄ光学表面轮廓仪)中,物体放在物镜的焦面即可被测。SWLI显微仪可以对物体进行精细地垂直方向的扫描。因为物体只有在物镜的焦面上才能产生干涉图样，所以也没有激光干涉中出现的周期性图样的问题。