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【求助】请教关于硅的xps的问题

XPS及其它能谱仪

  • 不同晶向的硅片做出的xps谱图是不是不一样？
    我的硅片基底在镀膜之前曾经用Ar气进行清洗，现在我们想做一个纯si的xps谱图，如果用没有清洗过的硅片做的话差别会不会很大？
    谢谢高手的指教~~~
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    +关注 私聊

  • feixiong5134

    第1楼2008/09/29

    没有见过XPS能做不同晶向的文章
    一般来说清洗是清洗杂物
    不知道你清洗什么？

0
    +关注 私聊

  • kathygao

    第2楼2008/09/29

    没有什么不同,如果你是检测的信息是来自体中.但如果你是使用同步辐射源的更表面敏感的激发能,不同表面的表面成分自然不同.

0
  • 分
  • 该帖子已被版主-feixiong5134加1积分，加2经验;加分理由:qqq
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