透射电镜（TEM）
蓝莓口香糖
第1楼2008/11/14
最合适的可能是FIB，现在做半导体器件的TEM样品很多都必须用这个。如果定点要求不是特别高，PIPS或者Fischione的离子减薄都能在样品中心附近穿孔，并且可以监视减薄过程，及时停止。至于价钱嘛，问国内的代理们吧。
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