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【分享】ICP-OES, ICP-MS, GDMS测试结果对比

ICP光谱

  • 附件是本人前不久在荷兰Amsterdam主办的CrystalClear Workshop发表的一篇论文海报。关于太阳能级硅料中杂质测试方法的讨论。希望对大家有帮助,另外,请尊重知识产权,未经本人同意,不要到别处转载。

    Comparison of Impurity Testing Methods for UMG-Si
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  • 面对面想你

    第1楼2008/11/28

    还有更详细的没?

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  • jchencs

    第2楼2008/11/28

    有全文,但还没有发表,所以没法现在公布, 但基本数据,结论都在这个海报里了。

    jackcong 发表:还有更详细的没?

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  • luorry

    第3楼2009/07/06

    UMG的不均匀性确实很大,跟样品经过的各种处理都有关系。
    取样位置,取样的代表性等问题都是会影响检测结果的。

    GDMS一般检测前样品表面会被清洁干净,分析的时候会让离子束预溅射一段时间。这样做分析的是样品体内的杂质,而表面的杂质基本都被去掉了。

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