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【求助】利用XPS数据如何计算原始的原子比?

lvjg1

2008/12/09

XPS及其它能谱仪

Name Start BE Peak BE End BE Height CPS FWHM eV
C1s 291.1 285.01 283 10651.9 1.38
O1s 534.5 530.57 528.7 87686.16 1.67
Zn2p3 1024.75 1021.59 1019 450913.13 1.73
Na1s 1074.3 1072.02 1069.3 12875.06 1.61

Area (P) CPS.eV Area (N) KE^1.0 At. %
20415.29 0.1104 11.59
171428.61 0.396 41.58
850723.06 0.4214 44.26
21858.51 0.0245 2.57

F Q SF Al Wagn TXFN Backgnd
1 0.25 615.7985 Smart
1 0.66 686.0777 Smart
1 4.8 904.3327 Smart
1 2.3 937.3189 Smart

PP Height CPS PP Hgt (N) PP At. % Title
10736.66 0.0087 10.01 C1s Scan
88066.74 0.0305 35.07 O1s Scan
451944.8 0.0448 51.47 Zn2p3 Scan
13442.69 0.003 3.46 Na1s Scan

我是在中国科大测的XPS，测试老师给了这一系列的数据，但我不知道他是利用表格中的哪些数据来计算At.%，而且这里有两个At.%分别代表什么意思？请教各位老师，谢谢！

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feixiong5134

第1楼2008/12/09

呵呵
吴老师给做的？
用 At. % 这一列的数据就可以了
不知道为什么你的这一列是空的呢？

0

lvjg1

第2楼2008/12/10

由于计算的时候把碳也算进去了，而我的薄膜中没有碳，吴老师说碳主要是薄膜表面的吸附碳，我想把碳去掉，重新计算一下。不知道有没有办法计算？

0

feixiong5134

第3楼2008/12/10

那你把C除去
比如C占10%
那么剩下的为90%
你用剩下的元素的含量除以90%就是各自的含量

0

feixiong5134

第4楼2008/12/10

不过我建议你直接用一个元素的含量除以c的含量
得出一个比值
然后一系列样品比较
如果单说一个元素的含量
在xps里面没有太大意义
因为它是半定量的

0

lvjg1

第5楼2008/12/11

谢谢老师的指点。

0

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