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【求助】薄膜样品，想测试：成分含量-深度分布的曲线，该用什么技术呢？谢谢~~

元素分析综合讨论

  • 结构是两层膜，上层是金属，厚100nm；下层是硅，厚400um。
    想知道从顶层起到深度1um范围内的元素成分种类、含量随深度变化的曲线。

    用什么样的测试技术呢？希望指点。
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    +关注 私聊

  • 过客

    第1楼2008/12/19

    你是要做什么元素?估计很难做.

0
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  • wyytg

    第2楼2008/12/19

    测得元素有Si O P C Au

0
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  • liugw123450

    第4楼2009/08/12

    如果感兴趣可跟我联系 gwliu@honoprof.com

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  • 魅力星光

    第5楼2009/08/14

    O是什么?氧???打错吧?
    Si,P,C,Au这都常做的元素...
    你要做深度变化曲线,估计仪器很难做..
    手工分析看看吧..上层金属钻样,ICP分析Si,P,Cu,然后C用碳硫仪分析...
    ..

    wyytg 发表:结构是两层膜，上层是金属，厚100nm；下层是硅，厚400um。
    想知道从顶层起到深度1um范围内的元素成分种类、含量随深度变化的曲线。

    用什么样的测试技术呢？希望指点。
    原文由 wyytg 发表:测得元素有Si O P C Au

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