fengyonghe
第1楼2008/12/21
答：不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书，你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜（电磁透镜）的电流产生一个聚焦磁场，电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜（电磁透镜）的电流，产生较弱的聚焦磁场，因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪，不考虑像差他们之间的关系可表达为：d2=0.4i/Bα2。d:束斑直径 i:束流 α：张开半角，张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。
磨剪子嘞 锵菜刀
第4楼2008/12/26
不敢谈请教，大家共同进步；
提高束斑，电子束的直径变小，打在样品上的电子束的电流相应的减小；
这是因为增加束斑值，增加了第一级透镜的汇聚能力，相应的电子束在经过两级透镜汇聚之后，打在末级光栏上的角度变大（电子束的发射角变大，但是光栏的尺寸不变，即通过末级光栏的电流变小）打个手电筒的比方，用手电筒的光照射到一个大小不变的孔洞，如果光束的发射角变大（光斑变大），那么能够射进孔洞的光就会相应的变少；这样我们可以能够理解图像变暗的原因了；
因为调节Spotsize是改变了第一级透镜的聚焦能力，相应的各级别的透镜的焦点也发生改变，所以改变spotsize的同时需要再次聚焦是正常现象；
图像视野发生漂移通常是因为电子光学不对中（各级透镜及光栏不对中造成的）；
首先考虑末级光栏（物镜光栏）不对中导致的。
其次可能是透镜对中问题。
就想到这么多其他的还要请大侠们补充。
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