【讨论】关于聚光镜电流和束斑直径的问题？

答：不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书，你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜（电磁透镜）的电流产生一个聚焦磁场，电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜（电磁透镜）的电流，产生较弱的聚焦磁场，因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪，不考虑像差他们之间的关系可表达为：d²=0.4i/Bα²。d:束斑直径 i:束流 α：张开半角，张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。

聚光镜电流增加，聚光透镜磁场增大，电子束焦距减小，束斑尺寸减小。