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【求助】关于x射线晶面反射的图谱分析求助

yongchen1222

2009/04/16

X射线衍射仪（XRD）

各位前辈，大家好。我这里有一个样品，前一段时间做了x射线镜面反射曲线，但是不知道该怎么解释，查了各种资料，关于x射线镜面反射方面的资料很少，希望在这里能够得到各位前辈的指点，不胜感激。
我的样品为在蓝宝石衬底上生长的GaN基LED外延片，首先是在蓝宝石衬底上生长GaN缓冲层，然后生长1个微米左右的n型GaN，然后在生长150nm厚的InGaN/GaN超晶格结构层，然后再生长550nm左右的p型GaN。下图是在bede D1设备上做的x射线镜面反射曲线，不知道该怎么分析，希望能够得到各位前辈的不吝赐教。谢谢。

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