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【求助】真空泵好像堵塞了,抽不下去

气质联用(GCMS)

  • 急,也不知道发在这边合不合适,好像惹大祸了,肯请各位看看。我这边等离子刻蚀机抽真空时把一些胶给抽进管路里去了,现在腔体的真空度抽到30多帕就抽不下去了,各位看看是哪边出问题了,该怎么办?谢谢!
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  • happy水中月

    第1楼2009/05/05

    如果还在管路就停泵,把管路里面的东西拿出来,实在不行换管子.如果进到泵里面了,换油,清洗真空泵.

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  • idsl

    第2楼2009/05/05

    谢谢啊,后来又抽了好多次,估计已经到泵里面去了...机器用不了要被骂死了...明天再去试试看了

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  • 雾非雾

    第3楼2009/05/06

    应助达人

    如果可能一段段查看,看到底有没有抽到泵里,还是在哪堵住了。

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  • 東成西就

    第4楼2009/05/06

    你把泵打开,换一下机油,最好用油多洗几次,能取出来的。

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  • 峰 (Davon)

    第5楼2009/05/06

    换下管子,再试试看

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