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【求助】SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸

tony_zk

2009/08/11

透射电镜（TEM）

各位大侠，请问，SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸范围？

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天黑请闭眼

第1楼2009/08/11

一般只有场发射枪才能比较这几样尺寸。
tony_zk 发表:各位大侠，请问，SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸范围？

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tony_zk

第2楼2009/08/11

恩，不管是钨灯丝还是热、冷场发射枪，请大家谈谈知道的数据吧。
shxie 发表:一般只有场发射枪才能比较这几样尺寸。

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水手BOBO

第3楼2014/03/09

束斑尺寸SEM，一般有~5nm, STEM可以选择，有1.0，0.5nm等

0

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