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【求助】DSQ的分子涡轮泵的问题!求教

  • zhao1hao2985
    2009/09/14
  • 私聊

气质联用(GCMS)

  • 事情是这样的。上周五安装UPS,停机。顺便对设备除下尘。用氮气对灰尘吹扫,然后拿吸尘器吸。开机后一切正常,但开机1-2小时后。真空泵转数和真空就会出错。前级真空可以达到50mTorr以下。找工程师询问,说是要来现场才能判断。但时间上不知道安排到什么时候了,比较紧急的情况。请各位高手指点下可能的原因!!谢谢
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  • ruan651209

    第1楼2009/09/14

    1 真空出错不知有何提示?
    2 正常使用,前级真空俺这大多在37-45mTorr。
    3 DSQ真空指示与其他机型不一样。

    zhao1hao2985 发表:事情是这样的。上周五安装UPS,停机。顺便对设备除下尘。用氮气对灰尘吹扫,然后拿吸尘器吸。开机后一切正常,但开机1-2小时后。真空泵转数和真空就会出错。前级真空可以达到50mTorr以下。找工程师询问,说是要来现场才能判断。但时间上不知道安排到什么时候了,比较紧急的情况。请各位高手指点下可能的原因!!谢谢

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  • zhao1hao2985

    第2楼2009/09/14

    DSQ的TUNE 软件正常的话,开机 3-5分钟左右。PUMP RPM 和VACUUM都会在OK状态。我现在开机后1个小时内是OK的。过了1个多小时就FAULT状态了。
    前级真空一般DSQ在60以下就没什么问题的。

    ruan651209 发表:1 真空出错不知有何提示?
    2 正常使用,前级真空俺这大多在37-45mTorr。
    3 DSQ真空指示与其他机型不一样。

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  • ❤厶大三

    第3楼2009/09/15

    也许是散热的问题?纯属瞎猜

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  • ruan651209

    第4楼2009/09/15

    还真没碰到过,看来只好等工程师了。


    DSQ的TUNE 软件正常的话,开机 3-5分钟左右。PUMP RPM 和VACUUM都会在OK状态。我现在开机后1个小时内是OK的。过了1个多小时就FAULT状态了。
    前级真空一般DSQ在60以下就没什么问题的。

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  • zhao1hao2985

    第5楼2009/09/16

    谢谢了,好像还真是散热问题。自己加装的除尘网透气性差了点。

    chihaijun 发表:也许是散热的问题?纯属瞎猜

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  • wanttofly

    第6楼2009/09/16

    很久以前听了一个工程师的介绍,加了个滤网,又被另外一个工程师批驳了,说不利于散热,温度不能高于30度,所以又拆了,还常年将空调调到20度

    zhao1hao2985 发表:[谢谢了,好像还真是散热问题。自己加装的除尘网透气性差了点。

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