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【求助】XPS和AES求助

  • songbin664
    2009/11/09
    • 私聊

元素分析综合讨论

  • 样品是一个成分梯度变化的薄膜，做了一个AES深度分析成分，成分在梯度方向有变化，但成分与实际情况很不相符（严重偏离化学计量比）；由于经费和仪器的限制只做了一个薄膜的表面成分分析，发现和希望的很接近。是否可以用XPS去标定AES呢？这样的话结果会和当初设计制备的样品较符合。
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    +关注 私聊

  • songbin664

    第1楼2009/11/09

    请高手指教啊。

0
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  • 云☆飘☆逸

    第2楼2009/11/09

    应助达人

    XPS 对于深度分析问题不大，对于定量分析，它是否属于半定量？还是GDS-OES最准确。

0
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  • 世界之窗

    第3楼2013/07/12

    XPS属于仪器定量，属半定量的。。。。。。主要用于表面的成分，结合离子溅射的话还可以对多层膜进行剖析。。。。AES主要是对表面的进行一个微区分的分析各有优势，整体的来说看你针对什么样品了，总的来说，我人文AES好点。。。。。。。。。

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