【求助】SEM歷史疑問

扫描电子显微镜是20世纪60年代发展起来的现代微观研究工具，主要是利用各种电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征x射线、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。扫描电子显微镜即通过这些信号，利用不同的探测手段来分析样品的形貌以及组成，使用范围非常广泛。
电子显微镜发展历史
　　* 1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。
　　1897 J.J. Thmson 发现电子
　　1924 Louis de Broglie （ 1929 年诺贝尔物理奖得主） 提出电子本身具有波动的物理特性， 进一步提供电子显微镜的理论基础。
　　* 1926 Busch 发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折一般， 由电磁场的改变而偏折。
　　1931 德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。
　　1937 首部商业原型机制造成功（ Metropolitan Vickers 牌） 。
　　* 1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。
　　1938∼39 穿透式电子显微镜正式上市（ 西门子公司, 50KV~100KV, 解像力20~30Å） 。
　　1940∼41 RCA 公司推出美国第一部穿透式电子显微镜(解像力50 nm) 。
　　*1941∼63 解像力提升至2~3 Å （ 穿透式） 及100Å （ 扫描式）
　　1960 Everhart and Thornley 发明二次电子侦测器。
　　1965 第一部商用SEM出现(Cambridge)
　　1966 JEOL 发表第一部商用SEM(JSM-1)