【求助】JEOL5600 抽真空问题

这种情况楼主要注意一下，机械泵抽的时候能否转换到DP泵上，如果抽了很久，DP泵都不开始工作，说明真空漏的很厉害了。反之，如果DP泵能工作就说明真空漏的还不严重，可以给密封圈用酒精清理一下再涂些真空脂什么的，再试一试。

或者检查一下整个真空系统，包括泵，管道有什么异样或者漏气的地方，或者看看机械泵是不是油太脏了或者油不够了。如果实在自己排除不了故障就只能求助厂家工程师了

扩散泵坏了！换这个要多少钱呀？

真空系统若没问题检查一下传感系统

楼主怎么判断的呢？DP泵价格可能会比较高，但也要看坏的程度，像这样比较老的机型，还有修的余地

DP泵一般很耐用的，比TMP泵要强，叫工程师过来确认下故障吧，也可能只是下面的加热部分有问题，这样价格不会很高，或者时间长了，油有问题了

表示赞成！扩散泵很抗用，维修顶多就是换油！

建议1.用电离规真空计检查一下系统的真空度，如果基本正常（10-3、-4Pa），说明是指示灯坏了，换一个就好；
2.如果不正常，看DP有否启动；如能启动，而真空度不好，则检查DP;(有时加加油就好)。如不启动，就检查前级机械泵或罗兹泵部分，包括管道、泵阀、配件，是否有泄漏，。。。。。

那就要考虑是不是控制板或者是分子泵的问题了

检查清理机械泵