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【资料】半导体硅材料中杂质元素的分析方法

ICP-MS

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  • lilongfei14

    第1楼2010/01/18

    确实半导体硅材料的资料不多，很难找

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  • mayllen

    第2楼2010/01/19

    谢谢楼主分享资料。

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  • ykll20062006

    第3楼2010/01/19

    下了，谢谢！！

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  • yanilla

    第6楼2010/02/03

    谢谢楼主，下载看看

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  • 光哥

    第7楼2010/04/13

    应助工程师

    晕倒，。，。。。。NAA，做个样好像要N多天吧？

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  • nps

    第8楼2010/04/14

    嘿嘿，听说是两个月左右...主要是要找反应堆辐照...

    小光(xsh1234567) 发表:晕倒，。，。。。。NAA，做个样好像要N多天吧？

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  • Tim

    第9楼2010/04/15

    如果用激光烧蚀加上HR-ICP-MS也可以的，有GD-MS就更简单啦

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  • 光哥

    第10楼2010/04/20

    应助工程师

    据说：LA是20多万美元，HRICPMS大约40万欧。。GDMS大约65万欧。
    汗。。。做硅的，据说LA的基体和记忆效应还不小。直接上GD算了。

    Field_Tian(MWSpecialist) 发表:如果用激光烧蚀加上HR-ICP-MS也可以的，有GD-MS就更简单啦

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