【求助】求AES结果分析（希望能具体点）

首先建议你先看一下AES的基本理论. http://www.coretechint.com/technical_info-aes.php?lang=2

因在AES测试的时候,谱图因侦测了二次电子与背散射电子而会成一像耐克 形状的背景讯号. 而AES真正的讯号是在此背景上所出现. 所以一般来说在做AES分析的时候, 为了把不想要的这个背景讯息拿掉都会以微分来表达所谓的AES图谱. 而讯息强度的定义是在微分之後像脉搏的谱峰最高与最低的差 (peak-to-peak). AES分析可以做定性与定量的分析. 定性的话是看峰的位置与形状 (包括微分前後都要看). 而定量是以 出现的元素讯号强度除以该元素的灵敏因子(由仪器工厂提供). 把所有出现的元素的这个除式相加, 此为总数. 如要得出当中其中一个元素的百分比, 可把该元素的除式当分子, 之前得出的总数当分母. 再乘以100%换算成百分比即可. (Example below)

留意AES中的定量为半定量. 一般在同类样品之间可以做比较之用. 但不建议完全相信定量出来的结果. 其中误差有可能会比较大. 主要是因为AES本身原理的关系.跟仪器不相关.

回到你的数据. 如果出现的元素只有 Al 和 N. 有理据相信样品是AlN. 反正N也不可能在普通室温以固态自己存在. 当然也可以以 Al 的 AES 谱峰峰形去加以证明判断. (Al-metal 微分後峰约在1396V , 微分前约在1391.25V. 如峰位比较低而其他出现的元素只有N, 应该就可以确定是 AlN 了.

你附上的定量Table,

0.161 是N的灵敏因子. 0.110 是Al的灵敏因子.

在你的图谱中. X-轴是动能 (Kinetic Energy). 在你看完AES原理之後, 你应该可以明白. 因不一样元素在不一样电子轨迹所产生的俄歇电子 都会有特定的动能. 所以仪器就是以侦测在那些动能上有出现峰来知道样品上出现的元素资讯.

而 Y-轴如之前所提就是强度的表达. 以你 N 谱图, 最高点约为2200. 最低点是 1600. 如此之间的差是
(2200-1600) = 600c/s
定量时利用上面提供的灵敏因子的计算是 (600/0.161)
因你没附Al的图,不过你可以自己看 peak-to-peak = ??? (假设为 A)
那麽 Al 定量就是 (A/0.11)
Total = (600/0.161) + (A/0.11)
Al % = (A/0.11) / Total x 100%
N % = (600/0.161) / Total x 100%
因你只提到样品测了 Al 和 N. 如果实际上有更多其他元素, 以上概念还是可以使用只是要多考虑多一个或多个元素.

时隔多时，LZ的问题进展如何，欢迎反馈