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【求助】大家看下我需要买什么样的扫描电镜!

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 对扫描电镜一点也不了解,但因需要购买台扫描电镜,要求能对硅片的表面状态进行扫描,能成立体图像,且可对立体图像的长、宽、高进行测量,测量精度至少达到0.1微米。大家在用的电镜,符合这些要求的都有哪些,有什么优缺点?
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  • huangtao0307

    第1楼2010/05/20

    日本电子的就可以了啊,关键是你预算有多少啊?呵

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  • 驰奔

    第2楼2010/05/21

    扫描电镜图像有立体感,但实际是二维图像,在样品没有倾斜状态下,对平面尺寸进行测量,准确度还是靠的住的。
    按照目前扫描电镜放大倍数误差正负10%以内的标准测算,楼主的0.1微米测量精度要求来推算,样品的结构尺度还是比较大的。一般原位大个2万倍足矣。

    至于三维结构中的高度,据我了解现在有软硬两个方法,
    软的:从图像灰度等级,依据二次电子产额与样品形貌的关系,推算样品高低不平的高度,从而模拟出三维图像。 这个对有些特殊样品比较有效,复杂样品很难说。很多厂商都免费送,成本低----这就很说明问题。
    硬的,纯粹样品台多角度全对中步进旋转,每一步都进行图像存储,并且计算机自动数据分析,最后合成立体图像,类似全息照相,这个精度应该说比较高。成本也高。
    据我所知,最好是六轴马达计算机导航驱动的样品台,才好用。

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  • 平凡人

    第3楼2010/05/21

    感谢你的关注。
    能不能推荐几个型号?预算是浮动的,按质论价吧。

    huangtao0307(huangtao0307) 发表:日本电子的就可以了啊,关键是你预算有多少啊?呵

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  • 平凡人

    第4楼2010/05/21

    谢谢关注!
    具备六轴马达计算机导航驱动的样品台的电镜都有哪些型号?

    驰奔(srd2009) 发表:扫描电镜图像有立体感,但实际是二维图像,在样品没有倾斜状态下,对平面尺寸进行测量,准确度还是靠的住的。
    按照目前扫描电镜放大倍数误差正负10%以内的标准测算,楼主的0.1微米测量精度要求来推算,样品的结构尺度还是比较大的。一般原位大个2万倍足矣。

    至于三维结构中的高度,据我了解现在有软硬两个方法,
    软的:从图像灰度等级,依据二次电子产额与样品形貌的关系,推算样品高低不平的高度,从而模拟出三维图像。 这个对有些特殊样品比较有效,复杂样品很难说。很多厂商都免费送,成本低----这就很说明问题。
    硬的,纯粹样品台多角度全对中步进旋转,每一步都进行图像存储,并且计算机自动数据分析,最后合成立体图像,类似全息照相,这个精度应该说比较高。成本也高。
    据我所知,最好是六轴马达计算机导航驱动的样品台,才好用。

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  • fyh1010

    第5楼2010/05/21

    你测量精度达0.1微米,也就是1nm,分辨率有点高啊,我知道FEI的场发射电镜能达到,不知道其它的能不能达到。

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  • 驰奔

    第6楼2010/05/21

    您的计算误差达100倍,
    按照您的建议,几十万美元的出入!

    fyh1010(fyh1010) 发表:你测量精度达0.1微米,也就是1nm,分辨率有点高啊,我知道FEI的场发射电镜能达到,不知道其它的能不能达到。

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  • 驰奔

    第7楼2010/05/21

    英国camscan的有一款, tescan也有一款,实际上,这两家似乎有技术上的相互支持。FEI似乎是最早提出这个商品化电镜功能厂商,几年前就听过他们介绍,在中国行不通,价格太贵。

    立体对技术:需要硬件支持,即样品倾斜,倾斜轴保持恒定位置。同时需要软件进行自动合成立体图像。三维数码立体像,尺度就很容易计算了。

    平凡人(zhaoyt1979) 发表:谢谢关注!
    具备六轴马达计算机导航驱动的样品台的电镜都有哪些型号?

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  • syning90

    第8楼2010/05/21

    呵呵,您真会开玩笑,0.1微米是100nm啊,这个分辨率基本所有的扫描电镜都能达到,难点在于要测量厚度,测量厚度的方法也有很多,有实际靠倾转测得,也有倾转一点靠3D软件实现的,但这个好像不很精准。

    如果真的是1nm的分辨率,基本场发射才能满足,但不光FEI的可以,别的厂家的场发射也都可以啊

    fyh1010(fyh1010) 发表:你测量精度达0.1微米,也就是1nm,分辨率有点高啊,我知道FEI的场发射电镜能达到,不知道其它的能不能达到。

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  • jwdeng

    第9楼2010/05/21

    不一定非得用SEM啊,AFM,激光共聚焦,光学干涉仪,台阶仪都可以实现啊。100nm的精度这些仪器都能轻易实现

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  • 平凡人

    第10楼2010/05/22

    意向是购买SEM,因为还有其它方面用途。

    jwdeng(jwdeng) 发表:不一定非得用SEM啊,AFM,激光共聚焦,光学干涉仪,台阶仪都可以实现啊。100nm的精度这些仪器都能轻易实现

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