扫描电镜(SEM/EDS)
huangtao0307
第1楼2008/07/28
理論上應該是這樣的﹐要可放電不嚴重電子束就不會偏
atlas
第2楼2008/07/28
区域也是选点计算平均值!
refractories
第3楼2008/07/28
学习了,谢谢!
rodgerfei
第4楼2008/07/28
但电子束也有自己的束斑尺寸大小,当你所选的“点”太小,也就是放大倍数很大时选的点本身尺寸还小于电子束束斑尺寸就没有意义了
starfae
第5楼2008/07/29
很好的问题,希望专家能够回复,谢谢!!!
jwlee
第6楼2008/08/03
这个问题问得很好,我认为不外乎两种方式:1、扫描所选区域;2、选几个点作叠加。但我也不能确定是何种方式。
yinsh1212
第7楼2008/08/09
应该是这样的,这么说来,EDS分析的最小的点的大小就会受到电子束斑的大小的制约了,另外,我觉得实际得到的谱图的信息应该还受到电子束在样品中的扩散效应的影响,所以实际分析的面积大小可能会比选定的区域要大。
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