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【讨论】请教 inlens detector 问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • zeiss 的inlens detector 是不是主要探测SE１信号，而SE２ 和SE３信号都被排除了。我看到Software Control LEO 15XX Manual上是这么说的。
    原话如图。
    可是后来给一个研究primary electron于 半导体 材料或绝缘体 材料的人讨论， 他认为 inlens detector 只能排除SE３， 而SE２和SE１都是能被检测的。

    记得版上有zeiss 的专家，能不能给出确切的答案。 另外inlens detector 是不是Jaksch发明的，他应该很清楚吧， 谢谢
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  • je-05_25

    第2楼2010/06/14

    这个版上的ZEISS专家早已经甩手不管了，ZEISS现在只关注疯狂销售，他的销售提成业界最高，他们已经走火入魔了，根本不关心售后，更不要提技术了。
    我虽然是一名ZEISS的受害人，但我还是很崇拜哪个老版主，ZEISS的专家RENXIN的，他的老贴深入浅出，我学了很多。

    tebeto(tebeto) 发表:up up

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  • yinsh1212

    第3楼2010/06/14

    楼主您好，请问能将Leo 15**的说明书发一份给我吗？因为刚开始接手电镜操作，急需仪器资料，谢谢，我的电子邮件为yshscut@126.com,
    感激不尽！

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  • dongjia1982

    第4楼2010/07/13

    Zeiss电镜有个8Kv的，对电子（包括SE1，SE2，SE3和BSE）的加速静电场，我个人理解由于各种电子携带的能量不同，会聚角也不同，因此Inlens探头的位置刚好在SE1的会聚位置，所以对SE1最敏感。
    但是在100v到2KV低电压时候，个人感觉各种二次电子携带能量差不多，因此Inlens探头会探测到SE2和SE3的。
    不知道理解是否正确

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