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【求助】s-4800 扫描Au表面的问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 偶是新手,想向高手请教个问题! 昨天用日立的 s-4800扫描 Si基的Au 膜, 膜厚500A, 放大倍数约200K,电子束强度0.5Kv, 准备扫描时,都会把扫描区域打成黑色,同时真空度有所下降, 重复数次问题相同!
    请问这是正常现象或是Au表面干净? 样品是用浓硫酸双氧水煮过的呀!
    谢谢
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  • huangtao0307

    第1楼2008/01/09

    請問樓主能傳個圖片來看看嗎﹖﹖是不是像附件這個樣子﹐如果是那就可能是由于鏡筒污染了﹗

    wmdsjhjc 发表:偶是新手,想向高手请教个问题! 昨天用日立的 s-4800扫描 Si基的Au 膜, 膜厚500A, 放大倍数约200K,电子束强度0.5Kv, 准备扫描时,都会把扫描区域打成黑色,同时真空度有所下降, 重复数次问题相同!
    请问这是正常现象或是Au表面干净? 样品是用浓硫酸双氧水煮过的呀!
    谢谢

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  • wmdsjhjc

    第2楼2008/01/09

    感谢楼上的回复 ,我没有看到你发的附件呀!

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  • wmdsjhjc

    第3楼2008/01/09

    看到论坛的贴里有也有遇到这种情况的http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20071124/1069836/

    当时这台s-4800又做了其它样,没有异常情况,只不过样品不是Au

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  • hitachi-demo

    第4楼2008/01/09

    一般的,这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧,样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分,容易看到这种黑斑。

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  • wmdsjhjc

    第5楼2008/01/09

    谢谢楼上回复!
    这个不会是有机物附着被电子束打碳化了吧 如果提高电压是不是就消失了?
    这里面的实质原因是什么呢?

    hitachi-demo 发表:一般的,这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧,样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分,容易看到这种黑斑。

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  • hitachi-demo

    第6楼2008/01/09

    您给我个邮箱,我发篇文章给您,您就明白了。

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  • wmdsjhjc

    第7楼2008/01/09

    邮箱已经短信发给你了 谢谢!!!

    hitachi-demo 发表:一般的,这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧,样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分,容易看到这种黑斑。

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  • huangtao0307

    第8楼2008/01/17

    看不到附件哦﹗

    wmdsjhjc 发表:感谢楼上的回复 ,我没有看到你发的附件呀!

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  • qiuxie44

    第9楼2008/01/20

    Vacc太低了 ,观察金属,用这么低的干什么啊?
    怎么也得用 10KV啊
    实质原因不清楚
    欢迎加入4800群
    68845972
    一起讨论啊

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