SEM的历史

1925年德国物理学家德布罗意提出物质微观粒子的波动论后， 用电子聚焦成像的学科—电子光学便得到迅速发展。1932年德国的克诺尔（M.Knoll） 、鲁斯卡（E.Ruska）、吕赫和约汉森在电子显微镜研制上最先获得成功。1935年克诺尔试制出简单型的SEM,分辨率仅有100微米。1938年冯.阿登纳（Von.Ardenne）制造出“真正”的SEM。1942年兹维礼金（Zworykin）、希利尔（Hillier）、斯奈德（Snyder）对此进行改进，研制出分辨率为50nm的SEM。40年代，日本和美国的科学家在SEM研制方面也取得很大进展。在1953年剑桥大学的麦克马伦（Mcmullan）制成新的SEM，后经史密斯（K.C.A.Smith）改进，于1958年为加拿大制造出1台高质量的SEM。自此以后，SEM才成为一种有用的研究工具。历经30多年岁月，第一批商品化的SEM于1965年在英国剑桥仪器公司诞生，当时分辨率为25nm，使SEM的研发达到高潮。进入90年代，随着微型计算机的迅速发展， SEM和EDS发生了革命性的变化，它们与最新的计算机技术相结合，推出数字化的SEM，所有技术参数的设置和执行、复杂的面板操作，均简化为只使用计算机键盘和鼠标；图像照片的显示使用高分辨率的显示器，取代了只有在黑暗房间才能观察的阴极显像管，使操作人员可以在明亮房间工作，大大改善了工作条件；数字化的图像照片、图形和数据结果由计算机采集, 便于用户使用Micro -Office软件处理、编辑打印，去掉了照相机，免除了照片的冲印，大大提高照片的质量，同时分析结果还可用网络传输,实现了资源共享。进入21世纪，世界上著名的SEM制造厂家，生产出的SEM全部由微型计算机控制，实现了全自动化。同时，为了适应含水生物样品、不导电样品的检测，又推出了环境扫描（ESEM）或可变压力的高低真空SEM，与常规SEM相比，其主要不同是样品室可以处于低真空，使压力在一定范围内调整。现在，SEM还可配置透射检测器，从而具有TEM的功能。