仪器各部分的技术规格和技术指标
1、 高频发生器
（1）电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，取出功率反馈信号进行闭环自动控制。
（2）工作频率：40MHz
（3）频率稳定性：﹤0.1％
（4）输出功率： 800 W ～1200 W
（5）输出功率稳定性： ≤0.5％
（6）电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处，
电场：E﹤10V/m； 磁场：H﹤0.2A/m
（7）电源：220V；30A
（8） 输出工作线圈内径25mm、3匝，配三同心外径20mm的石英炬管。
（9）同轴型喷雾器外径6mm；双筒型雾室外径35mm。
(10) 氩气流量计规格和载气压力表规格
等离子气流量计：（100～1000）L/h
(1.6～16)L/min
辅助气流量计：（60～60）L/h （0.1～1.0L/min
载气流量计：（6～60）L/h （0.1～1.0）L/min
载气压力表：（0～0.4）MPa
(11)冷却水:水温范围20℃～25℃，流量大于7 L/min， 水压力大于0.1 MPa,冷却水电阻率大于1MΩ。
2、 扫描分光器
（1）、光路：Czerny turner型
（2）、焦距：1000mm
（3）、光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600L/mm；刻划面积（80×110）mm
（4）、线色散倒数：0.26nm/mm
（5）、分辨率：≤0.008nm
（6）、扫描波长范围：（195～500）nm
（7）、步进电机驱动最小步距：≤0.0006nm
（8）、反射镜规格：（80×105）mm
（9）、透镜：Φ30，1：1成像
3、电子测量及控制电路
（1）、光电倍增管规格R106UH
（2）、光电倍增管负高压（200～900）V
（3）、光电倍增管电流测量范围：（10～12～10～4）A
（4）、信号采集为V/F变换，1mV对应100Hz
4、计算机对应系统
（1）、主机：赛扬TM Ⅱ处理器，内存256MB，硬盘 80GB
（2）、显示器：17英寸液晶显示器
（3）、打印机：PanasonicKX-P1121 24针打印机
5、整机技术指标
（1）、扫描波长范围：195nm～500nm（3600L/mm光栅）；
（2）、重复性：（即短期稳定度）相对标准偏差RSD≤2％ ；
（3）、稳定性：相对标准偏差RSD≤3％；
（4）、检出限（µg/L）：
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