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【讨论】10nm的薄膜如何用扫描电镜观察

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 10nm或小于10nm的薄膜总是做不好截面样品,也无法拍清楚膜层照片,大家在做超薄膜时有什么经验和体会,写出来大家分享.
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  • asahi42

    第1楼2010/08/20

    冷冻断裂都没有办法搞定的话,您考虑一下离子切割把,但不是FIB。主要冷冻断裂出来的样品界面不够平整,容易造成失焦。10nm而且是薄膜,用冷场减速合并小束流试试吧,但是样品台要自己加工一个。

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  • lilaoshi

    第3楼2010/09/12

    这么好的问题没有探讨,先发个图片,大家看看如何改进,

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  • golf

    第4楼2010/09/13

    这种用FIB比较合适吧,或离子减薄?

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  • carbonfilm

    第5楼2010/09/20

    这个问题我也很头疼,同问一下啊

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