扫描电镜(SEM/EDS)
asahi42
第1楼2010/08/20
冷冻断裂都没有办法搞定的话,您考虑一下离子切割把,但不是FIB。主要冷冻断裂出来的样品界面不够平整,容易造成失焦。10nm而且是薄膜,用冷场减速合并小束流试试吧,但是样品台要自己加工一个。
dullrobber
第2楼2010/09/05
好好专业啊
lilaoshi
第3楼2010/09/12
这么好的问题没有探讨,先发个图片,大家看看如何改进,
golf
第4楼2010/09/13
这种用FIB比较合适吧,或离子减薄?
carbonfilm
第5楼2010/09/20
这个问题我也很头疼,同问一下啊
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