扫描电镜(SEM/EDS)
pych1
第1楼2010/09/21
如果有应急电源,离子泵工作,应该没问题,如果没有,灯丝也不应该坏,多几次FLASH
yinsh1212
第2楼2010/09/21
离子泵应该是在工作的,发现时电子枪部分的真空为5*10-8Torr,我的是热场发射灯丝,
第3楼2010/09/22
现在仪器不能开启了,是不是像这种热场灯丝在真空逐渐下降时有自动保护的功能设置呀,
jzhx68
第4楼2010/09/28
5*10-8Torr是不是真空有点低,需要烘烤。否则灯丝自动保护。
fengyonghe
第5楼2010/09/28
离子泵没有停,腔内压力可维持在10-8Torr(10-6Pa)。要把电子束引下来,非专业人员会的不多,只有咨询厂家。
第6楼2010/09/29
仪器进行过烘烤,烘烤后电子枪部分的真空可以达到10-10torr,烘烤后的真空应该是没有什么问题的,
第7楼2010/09/29
离子泵应该是没有停的,仪器pump后进行烘烤,烘烤后的真空达到10-10torrent、,加上引出电压和灯丝电流后,引出电流为0,没有任何引出电流。
rjjdfa3p
第8楼2010/10/09
gun vacuum多少,sys vacuum多少
第9楼2010/10/09
烘烤后Gun Vacuum可以到10-10torr范围,sys vacuum也没有问题的,昨天工程师过来检查了,高压没有问题,建议换灯丝,痛苦呀,这个灯丝才用不到1个月呀,就这样报废了吗?
jeffrylee
第10楼2010/10/11
请问热场还需要专门的PUMP么,这是个什么意思呢?我们的4800用完了关掉电脑就好了,电镜主机不用管的。
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