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【求助】场发射电子枪

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 蔡司1530VP场发射扫描电镜,新换的一个灯丝,周五做完实验后学生拿出样品后忘记pump了,周日上班时发现由于真空原因电子枪引出电压和引出电流已经将为0了,烘烤仪器24小时,昨天下午重新开机时可以加上引出电压和灯丝电流,但没有引出电流,是不是灯丝已经损坏了呀,急!!!!!!!!
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  • pych1

    第1楼2010/09/21

    如果有应急电源,离子泵工作,应该没问题,如果没有,灯丝也不应该坏,多几次FLASH

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  • yinsh1212

    第2楼2010/09/21

    离子泵应该是在工作的,发现时电子枪部分的真空为5*10-8Torr,我的是热场发射灯丝,

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  • yinsh1212

    第3楼2010/09/22

    现在仪器不能开启了,是不是像这种热场灯丝在真空逐渐下降时有自动保护的功能设置呀,

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  • jzhx68

    第4楼2010/09/28

    5*10-8Torr是不是真空有点低,需要烘烤。否则灯丝自动保护。

    yinsh1212(yinsh1212) 发表:离子泵应该是在工作的,发现时电子枪部分的真空为5*10-8Torr,我的是热场发射灯丝,

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  • fengyonghe

    第5楼2010/09/28

    离子泵没有停,腔内压力可维持在10-8Torr(10-6Pa)。要把电子束引下来,非专业人员会的不多,只有咨询厂家。

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  • yinsh1212

    第6楼2010/09/29

    仪器进行过烘烤,烘烤后电子枪部分的真空可以达到10-10torr,烘烤后的真空应该是没有什么问题的,

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  • yinsh1212

    第7楼2010/09/29

    离子泵应该是没有停的,仪器pump后进行烘烤,烘烤后的真空达到10-10torrent、,加上引出电压和灯丝电流后,引出电流为0,没有任何引出电流。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:离子泵没有停,腔内压力可维持在10-8Torr(10-6Pa)。要把电子束引下来,非专业人员会的不多,只有咨询厂家。

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  • rjjdfa3p

    第8楼2010/10/09

    gun vacuum多少,sys vacuum多少

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  • yinsh1212

    第9楼2010/10/09

    烘烤后Gun Vacuum可以到10-10torr范围,sys vacuum也没有问题的,昨天工程师过来检查了,高压没有问题,建议换灯丝,
    痛苦呀,这个灯丝才用不到1个月呀,就这样报废了吗?

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  • jeffrylee

    第10楼2010/10/11

    请问热场还需要专门的PUMP么,这是个什么意思呢?我们的4800用完了关掉电脑就好了,电镜主机不用管的。

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