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【讨论】扫描电镜“样品凸凹分辨“技巧讨论

木牛谦谦

2010/10/18

扫描电镜（SEM/EDS）

"扫描电镜原子序数越高，原子核大，背散射电子信号越强，图象越亮",这是基本原理，实际上明暗还跟很多因素有关，例如探头的位置和偏压加的方向（这个偏压是指二次电子和背散射电子切换时的偏压），尤其是粗糙表面。就一个案例说明一下：
电镜型号：JSL6480
在测试中碰到的一些问题：通过一般明暗衬度无法分辨图像是凸是凹。
解决的方法：观察样品室里面探头的位子（一般都不会是垂直的），通过二次电子和背散射衬度像来对比，暗的地方就是信号（背散射或二次电子）被挡住的地方，以此来判断。注：这个明暗是非常相对的，不像相衬度那么明显。

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xj4501

第1楼2010/10/18

下次测样的时候也去做一下，呵呵！

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