红外光谱（IR）
fyrebecca
第1楼2010/12/28
基本上多晶硅的测量是沿用单晶硅的方法
ghcily
第2楼2010/12/29
多晶单晶差不多吧，在测试的时候单晶多晶区别不出来吧
第3楼2010/12/29
我听Thermo那边的人说多晶是沿用单晶的标准方法来做测试的该人以前是制定该方法国标的人
zwyu
第4楼2010/12/31
嗯，基本上就是参考《GB-T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量红外吸收测量方法》、《GB-T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》，虽然这些标准都是针对单晶硅的。
hupo
第5楼2011/06/28
用常温红外测试间隙碳和氧的含量。我们这里是这样测的。
第6楼2011/06/28
那个不含氧的基片怎么解决的？直接买的SRM 2551？
salmon
第7楼2011/06/30
基本上这个是买不到的。
第8楼2011/07/12
那空白基片怎么搞？
第9楼2011/07/13
一般的软件里都带一条曲线的，区别在于这条曲线的质量如何
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