【求助】求GB/T11073-2007

等同于ASTM F 81-2001 硅片径向电阻率变化测量的标准试验方法.pdf

GB/T11073-2007标准是对GB/T11073-1989《硅片径向电阻率变化的测量方法》的修订。本标准修改采用了ASTM F8101《硅片径向电阻率变化的测量方法》。
GB/T11073-2007标准与ASTM F8101的一致性程度为修改采用,主要差异如下:
---删去了ASTM F8101第4章意义和用途。
GB/T11073-2007标准与GB/T11073-1989相比主要变化如下:
---因GB/T 6615 已并入GB/T 1552,本标准在修订时将硅片电阻率测试方法标准改为GB/T1552,并将第2章规范性引用文件中的GB/T6615改为GB/T1552;
---采用ASTM F8101第8章计算中的计算方法替代原GB11073-1989中径向电阻率变化的计算方法;
---依据GB/T1552将电阻率的测量上限由1×103 Ω·cm 改为3×103 Ω·cm;
---将原GB/T11073-1989中第7章测量误差改为第4章干扰因素,并对其后各章章号作了相应调整;
---删去了原GB/T11073-1989中的表1,采用GB/T12965规定的直径偏差范围;
---将原GB/T11073-1989中的表2改为表1,并依据GB/T12965中的规定,在本标准中删去80.0mm 标称直径规格,增加了150.0mm 和200.0mm 标称直径规格。