【讨论】替网友发问：选择什么仪器检测光学元件表面金属元素残留

目的是为了测试各个元素随着深度而变化的信息吗？

那每um的腐蚀深度，你控制的好吗？

我的建议是：

用辉光放电光谱仪，他的应用主要是两方面，1，成分分析，2，表面分析。你的应用应该属于后者既表面分析。

通过离子溅射，纵向剥离基本在1-10nm的精度，基本是逐层分析样品，可以得出各个元素的含量随着深度的变化数据，也可以得出各个层面上每个元素的含量总值。

曾经用辉光分析黄铜镀金，NIP为过渡界面。各元素含量随深度的变化，基本是一目了然了。

的确是想得到随深度的几种金属元素含量信息，但是基底材料是熔石英，可以用辉光分析吗？辉光分析的的精度如何，这个大概在ppm量级。

xiaoxun929(xiaoxun929) 发表:
曾经用辉光分析黄铜镀金，NIP为过渡界面。各元素含量随深度的变化，基本是一目了然了。

感谢damoguyan帮我发了个帖！！

熔石英的成分应该是二氧化硅吧，辉光测试是没有问题的。
分析的精度，和含量值有关系，含量越高，精度就越好。

实际样品操作肯定有难度

应助工程师

对于不能导电的基底，GDMS如何能分析？？难道真的要把样品给打碎，镶嵌在In上？？

应助工程师

是不是可以考虑把样品送给IC的晶圆厂，SEMI标准里面有一个就是专门针对硅片表面的金属分析的，可以手工来做，但最好是有专用的机械手来处理，这样分析精度会高很多。