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【求助】样品漂洗问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 今天遇到一个样品漂洗问题，基底为石英，膜为掺锗的SIO2，owner要求测量膜的厚度，但是片子已退过火，采用常规HF漂洗无法看到分层，后来用染结液效果也不明显，特向前辈们求助，采用何种方法做样品处理能看出明显分层？
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    +关注 私聊

  • 小M

    第1楼2011/05/15

    应助达人

    在扫描电镜下，看片子的截面（侧面），用背散射电子探测器。基体石英不导电，可能要镀金。

0
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  • skylack

    第2楼2011/05/17

    漂洗要做什么特殊处理不？现在比较关心的是在上电镜前是否能看出分层，还望有石英样品处理经验的前辈不吝赐教。

0
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  • unht

    第3楼2011/05/17

    看不出也可能是分层不明显，用AFM试一下

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