扫描电镜（SEM/EDS）
磨剪子嘞 锵菜刀
第1楼2008/03/07
好东西，景深、亮度、分辨率都是大大的高；不知道束流稳定度有多高？不能作能谱是个遗憾，microchannel Plate探头看样品成分需要肉眼对灰度识别，如果成分多了对眼睛要求很高；除了He气还可以加入其它的气体，这样做离子刻蚀、沉积也不错；这个大家伙光真空系统看样子就不便宜，如果真的只比热场发射贵一点的话，性价还是不错的哦。以上是我这两天做的功课，请大侠指点。附图片，来源于smt.zeiss.com
huangtao0307
第2楼2008/03/10
圖片效果好像不像啊﹗
春天的桃子
第3楼2008/12/01
绝对是好东西，价格也是不菲的
wildonkey
第4楼2009/01/02
分辨率、景深和衬度都有很大突破，zeiss网站上一张图说已经达到0.27nm的分辨率了。如真的只比高档扫描贵一些，那还是可以的。 感觉要在离子损伤、弱信号放大等方面要改进。不知道使用维护成本如何。不能进行EDS分析很可惜。 其实Zeiss把它改造成一个惰性气体离子源的高精度FIB应该是很有前途的，例如可改用Ar、Kr等气体，无离子注入，最小加工线宽亚纳米级，足以把现在所有的FIB都打的遍地找牙，那可是相当的niubility！
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