【求助】JFC-1600溅射仪喷碳的问题

应助达人

不是一般用碳绳吗？

兄弟，1600就是喷金用的，喷不了碳，喷碳要用另一个型号的

仪器的说明书上应该有详细的说明。我们的是JEOL喷镀仪，可以喷碳喷金。

应助达人

说到辉光，好像只有镀金的时候才有吧？镀碳有辉光吗？没看到过

说明书里只有金、铂和金钯合金，估计碳不行。

应助达人

那就说明这种型号的只能喷金，不能喷碳啦！

喷碳要另外加附件吧
虽然都叫喷，但喷金是sputter，喷碳是evaporation，完全不是一码事啊

那款机器只能溅射金和铂金，有些金属也可以溅射但是效果不好，喷碳要用镀膜机如果对样品要求不太高，也可用国产的溅射蒸碳仪例如：ETD-2000C

这里的“喷”泛指真空沉积镀膜。常用的真空沉积镀膜方式分两大类：离子溅射方式和热蒸发方式。按照真空度高低，可分普通真空（仅机械真空泵抽真空）镀膜仪和高真空（机械泵+涡轮分子泵或早期的扩散泵）镀膜仪。在电镜制样行业，喷金仪指的是普通真空的离子溅射镀膜仪，可镀金、铂、钯、银等贵金属导电膜；喷碳仪指的是普通真空的热蒸发镀碳仪，可用碳丝或碳绳镀制碳导电膜，用于EDS样品。喷金仪可加配喷碳附件、喷碳仪可加配溅射附件，以便在同一台仪器实现喷金喷碳两种功能。楼主提及的镀膜仪属于普通真空的离子溅射镀膜仪，如果没有配置喷碳附件的话，是不能实现喷碳功能的。石墨碳靶仅用在带有涡轮泵的高真空离子溅射镀膜仪上才能以“离子溅射”方式镀制碳膜，且镀膜速度很慢；普通真空镀膜仪上只能以“热蒸发”方式用碳丝或碳绳（而不是碳靶）镀制碳导电膜。另外，即使买的是高真空镀膜仪，通常也不用碳靶以“溅射”方式镀膜，而用碳棒以“热蒸发”方式实现镀制TEM载网上的碳支持膜及复形膜等比EDS样品要求更高的碳膜（当然也能镀EDS样品）。以上内容，供您参考。如有疑问，请发送邮件jhsu9999*foxmail.com探讨（请将*换成@）