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【第四届原创】使用日立S-4800场发射扫描电镜直接观察不导电介孔材料（介孔分子筛）

devin_wu

2011/11/10

扫描电镜（SEM/EDS）

介孔材料是指孔径介于2-50nm的一类多孔材料。介孔材料具有极高的比表面积、规则有序的孔道结构、狭窄的孔径分布、孔径大小连续可调等特点，使得它广泛应用于催化剂、环境保护、生物医药、清洁能源等领域。目前合成出来的常见的介孔材料其一般孔径在2~15nm左右。由于绝大部分介孔材料不导电，介孔孔径较小，且热稳定差，容易被电子束损伤破坏，给扫描电镜对该类样品进行观察带来困难。通常使用透射电镜对介孔材料的介孔形貌进行表征，但是由于透射电镜成像原理的局限性，其对材料表面孔道的表征不够清晰、直观。

随着电镜技术的发展，场发射扫描电镜分辨率的提高特别是低加速电压下分辨率的提高、电子束减速技术的应用。使场发射扫描电镜直接观察不导电介孔材料变成可能。

我使用的是hitachi S-4800场发射扫描电镜，清晰的捕捉了介孔形貌。嘿嘿，废话少说先上图^_^！

（SBA-15介孔分子筛 放大倍率10万）

（SBA-15介孔分子筛 放大倍率20万）

（SBA-15介孔分子筛 放大倍率20万）

（介孔SiO2 介孔孔径：3~5nm 放大倍率 80万）

*使用减速模式（原理见下图），电子束通过减速电场，有效的减少入射电子的能量，减少对介孔孔壁的损伤。

减速模式原理图

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linzq

第1楼2011/11/10

很好的经验参加原创大赛吧、
在前面改动一下

0

蓝莓口香糖

第2楼2011/11/10

楼主转载的这些图片要持有版权才能参加比赛。

0

fengyonghe

第3楼2011/11/10

没错，是转载的。

0

蓝莓口香糖

第4楼2011/11/10

哥，你这大换血也太彻底了，从图片到文字全变。

0

devin_wu

第5楼2011/11/10

绝对原创。
fengyonghe(fengyonghe) 发表:没错，是转载的。

0

devin_wu

第6楼2011/11/10

呵呵，不好意思。本来写了很多，都被我删了，图片还加了水印。
蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:哥，你这大换血也太彻底了，从图片到文字全变。

0

fengyonghe

第7楼2011/11/11

是不是这个网站上的内容，应该是你发表过的吧。

0

fengyonghe

第8楼2011/11/11

请问箭头指的D 、U、LAO是什么含义。

0

devin_wu

第9楼2011/11/11

哈哈！SICCAS是我自己加上去的水印啊！

D=deceleration 使用电子束减速模式， U指二次探测器类型为：上探测器， La0 LXB系统BSE信号混合0
fengyonghe(fengyonghe) 发表:请问箭头指的D 、U、LAO是什么含义。

0

devin_wu

第10楼2011/11/11

提醒一下：使用减速模式时，LXB系统是无效的，La0~La100都一样，样品台上加一个给入射电子减速的负电压，对于二次电子信号和背散射电子信号而言相当于加了个相反方向的加速的电压，此时LXB系统通过改变极板电位混合BSE和SE是无效的！

0

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