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  • 【序號】:1

    【作者】:F. Jimenez, S. D. Ekpe, and S. K. Dew

    【篇名】:Inhomogeneous rarefaction of the process gas in a direct current magnetron sputtering system

    【期刊】:Journal of Vacuum Science & Technology A / Volume 24 / Issue 4

    【全文連接】:http://avspublications.org/jvsta/resource/1/jvtad6/v24/i4/p1530_s1?isAuthorized=no

    【序號】:2

    【作者】:Claudiu Costin, Tiberiu M. Minea, Gheorghe Popa, Gerard Gousset

    【篇名】:Fluid Modelling of DC Magnetrons—Low Pressure Extension and Experimental Validation

    【期刊】:Plasma Processes and Polymers Volume 4, Issue Supplement 1, pages S960–S964, April 2007

    【全文連接】:http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ppap.200732307/abstract
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  • dahua1981

    第1楼2011/11/10

    应助达人

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