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请问无水酒精能否擦净芯片样品表面手印污染，多谢

ligroin

2006/03/19

XPS及其它能谱仪

昨天接了一个样，是一个芯片材料，可那个哥们是用手摸来摸去的，上面全是手印他要测表面元素相对含量，我想知道如果用无水酒精擦拭能否完全去除表面污物还是擦完仍要刻蚀一下。多谢了！

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wangwenhui

第1楼2006/03/19

无水酒精中还可能含有很少量的高沸点的物质,用它擦过后表面可能会留有少量的油状物

0

chengxps

第2楼2006/03/19

用异丙醇或丙酮

0

antill

第3楼2006/03/31

先用丙酮去油，然后用酒精或异丙醇清洗就可以拉

0

zhuyongfa

第4楼2006/04/03

最好先用丙酮超声处理，然后再用无水乙醇处理；
假如样品不怕溅射的话，在分析时还应该溅射一下结果会更真实些

0

peem

第5楼2006/04/06

请教zhu老师一下，溅射时是否会发生选择溅射的问题？什么情况容易发生，什么情况不容易发生？
一般情况如何解决这个问题？
还有溅射离子质量，能量，以及溅射离子电流对样品表面溅射速率的关系有无数据可以查询（是否有一般规则？）

zhuyongfa 发表:最好先用丙酮超声处理，然后再用无水乙醇处理；
假如样品不怕溅射的话，在分析时还应该溅射一下结果会更真实些

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