失地农民 2006/03/28
如果进样口和柱子两端确认无问题，再检查一下分流流路（铜管和滤芯，将其拆下，用洗耳球试一试看是否通畅），确认无问题后，用一个死堵头堵上分流出口，将INLET压力OFF，在面板上观察压力是否稳定（几分钟内不应出现下降），稳定可以排除分流流路有漏气问题，拆下死堵头，将吹扫出口堵上，原理同上，必要时可更换铜管和滤芯，以及白色金属管线与EPC连接处（一个金属块）的3个密封垫圈，两者都确认无问题后，基本上可以判断为EPC出问题（除非主板有问题），可从仪器背后将EPC拆下，看到3个电磁阀，它们当中之一会有问题。Agilent不会单独出售其中之一电磁阀，要更换必须整个EPC更换，想节省经费得话，也可以自己试着修一下，具体怎么弄，若需要得话，下次来接着说，先说这些吧。---说的不好的地方请指教。
shgtj 2006/03/28
既然没有泄漏,那就是流量控制器或是压力表有问题了.
shenchy 2006/03/28
进样隔垫和柱接头查了吗？
失地农民
第5楼2006/03/28
如果进样口和柱子两端确认无问题，再检查一下分流流路（铜管和滤芯，将其拆下，用洗耳球试一试看是否通畅），确认无问题后，用一个死堵头堵上分流出口，将INLET压力OFF，在面板上观察压力是否稳定（几分钟内不应出现下降），稳定可以排除分流流路有漏气问题，拆下死堵头，将吹扫出口堵上，原理同上，必要时可更换铜管和滤芯，以及白色金属管线与EPC连接处（一个金属块）的3个密封垫圈，两者都确认无问题后，基本上可以判断为EPC出问题（除非主板有问题），可从仪器背后将EPC拆下，看到3个电磁阀，它们当中之一会有问题。Agilent不会单独出售其中之一电磁阀，要更换必须整个EPC更换，想节省经费得话，也可以自己试着修一下，具体怎么弄，若需要得话，下次来接着说，先说这些吧。---说的不好的地方请指教。
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