透射电镜(TEM)
社区=冬季=
第1楼2012/01/08
楼主以前没做过?
w4m0330
第2楼2012/01/09
最简单的厚度粗略估计:等厚条纹个数乘以消光长度。
CFI
第3楼2012/01/09
厚度测量用等厚条纹的误差有多大?和CBED相比哪个更精确呢?
第4楼2012/01/10
如果样品是比较均匀的wedge-shape,wedge夹角不太大(比如30度以上)的话,等厚条纹精度基本上可以测量50-250nm范围内精度大约10-20nm吧,如果可以做动力学衬度模拟的话,精度可以提高到3-5nm左右。材料不同范围和精度也会有些变化吧,大概就是这样子。因为我只是估计一下厚度而已,20nm的精度差不多够用了。CBED没有做过。貌似也要做模拟
zrl1708
第5楼2012/01/11
没有,想知道现在什么方法最准确,方便。呵呵!
第6楼2012/01/11
那TEM是当做一个等厚的长方形看还是当做一个厚度变化的契型来算它的体积呢?
第7楼2012/01/11
请问你说的动力学模拟是具体怎么做。CBED我看文章,就是麻烦,工作量大。如果用等厚条纹误差不大的话,我觉得还是这个比较适合大量的统计。
蓝莓口香糖
第8楼2012/01/11
测厚度是个经典话题,如果要求不高,大角度倾转可能是最简单的办法。DBW&CBC有一部分介绍这个内容。
第9楼2012/01/11
大量统计的话,厚度条纹是不错的方法,一张照片范围大,实验工作要少的多。想提高精度动力学模拟是个很麻烦的东西,现成的程序,我知道的有SIMCON,是Fortran写的,UNIX运行,PC平台下我没有试过。PC下,JEMS有一个功能简单的Howie-Whelan模拟,功能有限,而且JEMS是商业软件。再另外,就得自己写代码了,更麻烦。体积计算契形长方形都可以啊,均匀契形的中央厚度就等于长方形的高嘛。
madaowo
第10楼2012/01/13
EELS,应该也能测量厚度吧,就是不清楚精度怎样,期待高人解释下。
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