维护前“ CR MN都是很稳定的”-----能差多少?维护后变差,是否维护时换过氩气?结果跳动大很可能就是氩气不纯造成的(建议用一块高Si球铁标样打几个点看看激发斑如果像第二图片那样气就很好;第一张右边发点儿浑的斑气就不太纯);一般擦过透镜一天后真空速率就恢复正常。
wangyi888(wangyi888) 发表:我们没维护前 CR MN都是很稳定的 但是现在怎么弄都是跳动大 我们这个工程师说MN跳动在0.15都是在正常范围呢 但是我们炉前要算当量差这么多可是要加很多料的 。。不知道我们的表样MN在12.18 但是打出来在12.08 12.04 12.34CR在14.21 打出来是14.06 14.16 14.31这个样子 以前打得是非常的稳 现在我们换了杜瓦罐这个有没有影响呢 ..前天那个真空突然到了0.9 那个频率在39.6%过了一天就又到了0.91 0.8%了