菜头
第10楼2012/03/19
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。
高真空泵扩散泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。
扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样,被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动,气体分子碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩,最后由前级泵抽走,而油蒸气在冷却的泵辟上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的。