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TEM屏幕上光斑边缘不锐利,有些像锯齿状,这是什么原因?

  • chinabaobao
    2012/05/06
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • TEM中光斑边缘不锐利,有些锯齿状,是什么原因造成的?
    是不是第二聚光镜(C2)光阑脏了?上面吸附了很多脏东西引起的?
    应该不是光路不对中引起的吧
    各位解释一下原因,并且应该怎么处理?
    谢谢
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  • flyer84

    第1楼2012/05/06

    我碰到过这种情况,是C2光阑的问题。有时候新光阑也会这样。电子束多打打,可能会好一点。

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  • chinabaobao

    第2楼2012/05/06

    这样有一段时间了,C2选2号光阑最严重,选3好光阑好一点儿,我怀疑是C2脏了
    为什么电子束多打打就好了呢?
    这种效果是逐渐形成的,天天电子束在打,没有变好,而是逐渐严重的,又怎么解释?

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  • iamikaruk

    第3楼2012/05/06

    光阑脏了
    平时真空不太好?

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  • chinabaobao

    第4楼2012/05/07

    平时真空很不错的,每天加冷阱,烘液氮
    为什么还会脏呢?
    不得其解
    各位继续讨论

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  • iamikaruk

    第5楼2012/05/07

    加液氮按理来说应该不错啊
    我见过的是一直不加液氮C2光阑就会变成这样

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  • 大布口袋

    第6楼2012/05/07

    老电镜 聚光镜光阑是会这样子的
    我见过比这个还严重的

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  • 洪星二锅头

    第7楼2012/05/07

    啊,我以为是是光阑脏了呢,是什么原因造成的

    大布口袋(taboo) 发表:老电镜 聚光镜光阑是会这样子的
    我见过比这个还严重的

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  • 蓝莓口香糖

    第8楼2012/05/07

    难道是电子束轰击?

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  • 大布口袋

    第9楼2012/05/07

    洪星二锅头(coime) 发表:啊,我以为是是光阑脏了呢,是什么原因造成的

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  • chinabaobao

    第10楼2012/05/08

    昨天问了一下售后工程师,也是说光阑脏了,可以用电子束打一打试试,不过会出现两种可能结果,一是变好了,这是期望的,另一种变得更严重了,这样就悲催了
    不过光阑这样不影响成像,工程师建议到不能忍受的时候就更换新的。

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