XPS图谱怎样确定元素价态？

分峰后，得到的峰的结合能与标准结合能能对照，确定其价态。

例如我做的是GaAs，测出的As的结合能对应的是As3d，这是几价的？如果对比的As是As3d，那么对应的GaAs化合物，我的Ga是不是也应该是Ga3d，Ga2p3/2就不对吗？

知道的大哥都来踩踩啊

标准就是某种化合物，化合物定了，价态当然也就定了。例如你的As3d的结合能与标准中的GaAs的As3d结合能一致，那就可以说你的东西就是GaAs。那么你的As当然就是-3价。这样判断就够了，不用管Ga。当然根据Ga的结合能来解的话，结果应该是一样的。

谢谢楼上大哥啊，我还想问下，如果我的As3d峰能对上，那么Ga的峰是不是也一定要是Ga3d，而不能是Ga2p3/2或者别的，是这样吗？

不是的，一般来说各元素都是扫最灵敏的那个峰，如C是1S，K是2p。所以一般操作人员都给你的是最灵敏的那个峰的谱图

你对XPS知道太少了！As和Ga没必要都是3d。Ga本身有1s,2s,2p,3s,3p,3d,4s,4p等电子层，除s层外，每个层又会分两个亚层（例如p分为p1/2,p3/2,d分为d3/2,d5/2），Ga无论形成什么化合物都有这些电子层，当然2p和3d都可以扫出信号峰。对GaAs来说，其Ga2p3/2的结合能应该在1117ev，而其Ga3d对应该在19ev左右。我们通过与标准结合能对照，通过Ga2p3/2或者Ga3d都可以确定其是否是GaAs，而不是说非得通过扫Ga3d才行。
决定其价态的是结合能，而不是看扫描的是2p还是3d。至于要扫哪个，是有一些规律的，如楼上所说的信号灵敏度，还有有的信号峰可能与别的元素交叠，那么就要扫其他电子层等等。

噢，非常感谢楼上大哥。。。

不客气，XPS非常强大，好好学学大有用处的，呵呵